技术 – 热对流MEMS加速度计

美新热对流MEMS加速度计每年用于数百万的新汽车、手机、相机、投影仪、家电以及其他应用。

该技术是美新公司全球独有的专利技术,美新公司全球是第一家也是唯一一家用标准CMOS 工艺实现MEMS芯片和混合信号处理电路单片集成的惯性传感器公司。

热对流MEMS加速度计采用密闭腔室内加热气体分子的对流原理,高精度的温度传感器能够检测由于加速度(或者倾斜)而产生的温度曲线变化。该技术具有许多独特性能优势:

1.没有移动部件,加速度计的“检测质量”是加热的气体分子。
2.这意味着没有可探测的谐振,从而使传感器几乎不受到任何外部的振动和冲击。
3.这些设备有非常高的可靠性,具有50,000g的抗冲击力(优于同类设备一个数量级)。
4.不会出现电容式传感器机械臂中的“粘滞作用”。
5.热对流加速度计无论时间和温度如何变化,都有着超越的0g偏移稳定性,并且几乎察觉不到任何热滞现象(许多其他的加速度计一般都会受到影响,并仅限于测量较小加速度值或者倾斜角度)。

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美新技术- 热对流MEMS加速度计
MEMSIC's Thermal MEMS Accelerometers are used in millions of new automobiles, phones, cameras, projectors, appliances